采用最先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝技術(shù),開發(fā)了一種新的CT分辨率圖用金(Au)吸收材料為5種不同尺寸的線和空間,從3微米到7微米。這是檢查微聚焦x射線CT掃描系統(tǒng)性能的非常有用的工具,也可用于校準(zhǔn),設(shè)置,維護(hù),日常校準(zhǔn)等。
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